MESO3D - Mesoscopic 3D Systems Group

Group photo of Mesoscopic 3D Systems Group. Five men and two women are walking down stairs.
Group photo of Mesoscopic 3D Systems Group. Photo: (C) Frank Grätz.

Advancing 3D technology and knowledge for our future generations.

Group Leader:

Dr.-Ing. Robert Kirchner

CV:

  • seit 2017: DFG Heisenberg Stipendiat und Gruppenleiter 3D Mesoskopische Systeme
  • 2013 – 2017: Postdoc Paul Scherrer Institut / Labor für Mikro und Nanotechnologie (Schweiz)
  • 2011 – 2012: Postdoc Technische Universität Dresden
  • 2007 – 2011: Promotion (Dr.Ing.) Technische Universität Dresden und Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
  • 2001 – 2007: Studium Elektrotechnik (Dipl.Ing.) Technische Universität Dresden und Chalmers (Göteborg, Schweden)

Research focus

  • High-resolution 3D lithography (EBL, 2PP, EUV)
  • Self-optimisation / self-organisation
  • Mesoscopic systems (MEMS / NEMS)
  • Material characterisation
  • Variation of polymer material properties by high energy radiation (electrons, photons)
  • Simulation of surface effects on polymer melts